[17a-D7-1~11] 14.4 光物性・発光デバイス

△ [17a-D7-10] RFマグネトロンスパッタ法を用いたZnO蛍光体薄膜の作製と電子線励起アシスト光学顕微鏡による試料観察

^○金森聡¹，三宅亜紀^1,2,3，居波渉^1,2,3，小南裕子^1,3，川田善正^1,2,3，中西洋一郎³ (静岡大院工¹，JST-CREST²，静岡大電子研³)

キーワード：酸化亜鉛