[17a-P14-1~16] 4.2 フォトニックナノ構造・現象

△ [17a-P14-8] 3方向同時エッチング型3次元フォトニック結晶におけるエッチング形状の光学特性に与える影響

^○北野圭輔，石崎賢司，権平皓，鈴木克佳，野田進 (京大院工)

キーワード：3次元フォトニック結晶,プラズマエッチング