[17a-P16-1~7] 6.4 薄膜新材料

[17a-P16-6] Cu₃N薄膜の作製と評価

^○清水航，丸矢航平，二宮善彦，佐藤厚，山田直臣 (中部大工)

キーワード：Cu3N,スパッタ,低温成長