[17p-A2-1~9] 1.9 超音波

△ [17p-A2-3] 厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価

^○高柳真司¹，柳谷隆彦²，松川真美¹ (同志社大¹，名工大²)

キーワード：圧電薄膜,無配向層,厚み共振