[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-12] 三フッ化塩素ガスによる炭化珪素結晶基板エッチング装置開発(2)

^○矢島大里¹，羽深等¹，加藤智久² (横国大院工¹，産総研²)

キーワード：ClF3