[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-13] 4H-SiC(0001)Si面におけるマクロステップバンチング分解機構

^○（M1）清水秀樹，久津間保徳，芦田晃嗣，大谷昇，金子忠昭 (関学大理工)

キーワード：SiC,Etching,debunching