[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

△ [17p-B3-6] アルファ粒子を利用したHPSI 4H-SiC中の欠陥評価

^○（PC）岩本直也，藤田奈津子，牧野高紘，小野田忍，大島武 (原子力機構)

キーワード：高純度半絶縁性炭化ケイ素,欠陥評価,アルファ粒子