[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-2] VドープZnO薄膜の熱処理に対する安定性

^○千葉博¹，森達哉¹，奥田修平¹，照井健太²，川島知之¹，鷲尾勝由¹ (東北大院工¹，東北大工²)

キーワード：ZnO,熱処理,安定性