[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-17] Arのマイクロ波放電フローを用いたa-SiC_ｘ:H 膜の形成

^○熊倉基起，鈴木常生，斎藤秀俊，伊藤治彦 (長岡技術科学大)

キーワード：プラズマCVD,アモルファス炭化ケイ素