[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-2] 超微量水素添加テトラへドラル・アモルファスカーボン膜

^○稲葉宏，松村徹，松本浩之 (HGSTジャパン 研究所)

キーワード：FCVA,ta-C,DLC