14:00 〜 14:15
[17p-D1-3] バンド型スーパーマグネトロンプラズマによるa-CNx:H膜のCVD（Ⅲ）
キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜
2013年9月17日(火) 13:30 〜 18:45 D1 (MK 1F-101)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2013年9月17日(火) 13:30 〜 18:45 D1 (MK 1F-101)
14:00 〜 14:15
キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ