[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-6] 分光エリプソメトリーによる水素化アモルファス炭素膜の屈折率及び消光係数の波長依存性

^○荒川悟，吉岡久志，水口和也，大塩茂夫，小松啓志，戸田育民，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技大)

キーワード：水素化アモルファス炭素膜,屈折率,消光係数