13:30 〜 15:30
[17p-P2-20] バラン給電型リモートプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発
キーワード：バラン給電,低光劣化,リモートプラズマ
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )
13:30 〜 15:30
キーワード：バラン給電,低光劣化,リモートプラズマ