[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

△ [17p-P2-22] デュアルマイクロ波プラズマ源CVDを用いた窒化炭素膜の合成

^○（M2）猪飼治¹，木口崇彦²，Maria Bratescu³，齋藤永宏^1,2,3 (名大院工¹，名大グリモ²，名大エコトピア³)

キーワード：窒化炭素,マイクロ波