13:30 〜 15:30
▲ [17p-P2-25] Effect upon the film morphology due to distance between the ECR plasma excitation antenna and the deposition target surface
キーワード：plasma deposition
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )