[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-26] RFアンバランスドスパッタを用いたCr-Al-N-O薄膜の合成

^○福垣内学¹，浅野誠¹，三木靖浩¹，平井誠²，杉山恭平² (奈良県産業振興総合センター¹，奈良高専²)

キーワード：UBMS,RFスパッタリング