2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P2 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P2-29] 紫外光アシストHeプラズマによるn-GaN表面エッチングダメージ

川上烈生1,新部正人2,中野由崇3,向井孝志4,白濱達夫1,山田哲也1,青木一馬1,仲祐弥1,高畑麻里1,大場健太1 (徳島大院工1,兵庫県大高度研2,中部大総工研3,日亜化学4)

キーワード:n-GaN,紫外光,He plasma