[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-32] AlGaNのドライエッチングへのBCl₃の影響に関する研究

^○劉璞誠¹，米澤宏昭²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：AlGaN エッチング