[18a-A14-1~11] 4.5 テラヘルツ全般

▲ [18a-A14-7] Improvement of Microbolometer Responsivity by Miniaturization

^○（P）Ajay Tiwari¹，佐藤弘明¹，青木誠²，武田正典²，廣本宣久²，猪川洋¹ (静岡大電子研¹，静岡大院工²)

キーワード：Micrbolometer,Terahertz,Electro-Thermal Simulation