[18a-B1-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[18a-B1-11] ドラム型グラフェン振動子の機械振動特性

^○高村真琴，岡本創，古川一暁，田邉真一，山口浩司，日比野浩樹 (NTT物性基礎研)

キーワード：グラフェン,MEMS