[18a-D6-1~9] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18a-D6-9] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクの作製とフォトルミネッセンス特性

^○肥後昭男¹，田村洋典^2,7，木場隆之^3,7，Cédric Thomas^2,7，王云鵬⁴，山下一郎^5,7，杉山正和⁶，仲野義昭^4,6，村山明宏^3,7，寒川誠二^1,2,7 (東北大WPI-AIMR¹，東北大流体研²，北大院情報科学³，東大先端研⁴，奈良先端大⁵，東大工学部⁶，JST-CREST⁷)

キーワード：中性粒子ビームエッチング,量子ドットレーザー,有機金属気相成長法