[18a-P2-1~5] 6.5 表面物理・真空

[18a-P2-3] 主鎖にナフタレン環を有するポリイミド薄膜の蒸着重合法による形成

^○菊地亮介，田中邦明，臼井博明 (農工大工)

キーワード：ポリイミド,蒸着重合,薄膜