[18a-P4-1~52] 11 超伝導（ポスター）

[18a-P4-46] N/I/Sトンネル接合型固体冷凍素子プロセスの開発

^○柏谷裕美，柏谷聡，川畑史郎，小柳正男 (産業技術総合研究所)

キーワード：トンネル接合,冷凍機