[18p-A13-1~14] 7.1 X線技術

[18p-A13-10] 高輝度EUV光源用ドットターゲットの開発

^○東口武史¹，廣瀬僚一²，鈴木悠平¹，川崎将人¹，砂原淳³，遠藤彰⁴ (宇都宮大院工¹，東北大多元研²，レーザー総研³，チェコ科学アカデミー物理部門⁴)

キーワード：高輝度,EUV