[18p-A4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-A4-17] チャージポンピング法を用いた三次元Si構造の界面準位密度測定

^○石川昂¹，小路智也²，角嶋邦之³，若林整³，片岡好則³，西山彰³，杉井信之³，筒井一生³，名取研二²，岩井洋² (東工大工学部¹，東工大フロンティア研²，東工大総理工³)

キーワード：チャージポンピング法,界面準位,シリコン