[18p-A4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [18p-A4-4] シラン放電プラズマ初期のクラスター発生と膜への取り込み

^○橋本優史¹，都甲将¹，金淵元¹，山下大輔¹，内田儀一郎¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂^1,2，鎌滝晋礼¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大¹，科学技術振興機構²)

キーワード：アモルファスシリコン太陽電池,ナノ粒子,光劣化