[18p-A4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-A4-7] a-Si:H、a-SiO:H、a-SiC:Hのp型ドーピング特性の検討

^○木谷彬彦¹，田中貫¹，傍島靖^1,2，佐田千年長^1,2，松田彰久^1,2，岡本博明^1,2 (阪大院基礎工¹，JST-CREST²)

キーワード：アモルファスシリコンカーバイド,PE-CVD