2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月18日(水) 13:30 〜 16:45 B4 (TC2 1F-106)

13:30 〜 13:45

[18p-B4-1] CVDでのGe選択成長における(311)面上成長速度の温度依存性

水野泰孝,河合直行,和田一実 (東京大工)

キーワード:選択成長,Ge,シリコンフォトニクス