PDF ダウンロード スケジュール 3 いいね! 0 16:00 〜 16:15 △ [18p-B4-10] RFスパッタリング法を用いた結晶Geナノ粒子膜の堆積 ○(M1)市田大樹1,内田儀一郎1,徐鉉雄1,鎌滝晋礼3,板垣奈穂1,2,古閑一憲1,白谷正治1 (九大シス情1,PRESTO2,九大基幹教育院3) キーワード:Ge,結晶化