[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

[18p-C1-12] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄機における水噴出ノズル設計

^○小野伸賢¹，羽深等¹，後藤昭広² (横国大院工¹，プレテック²)

キーワード：湿式洗浄