2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

06．薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[18p-D2-1~15] 6.5 表面物理・真空

2013年9月18日(水) 13:00 〜 17:45 D2 (MK 1F-102)

16:45 〜 17:00

[18p-D2-12] Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成過程

○須藤孝一1，蛭田玲子2，栗林均2 (阪大産研1，富士電機2)

キーワード：表面拡散