2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

06．薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[18p-D2-1~15] 6.5 表面物理・真空

2013年9月18日(水) 13:00 〜 17:45 D2 (MK 1F-102)

17:15 〜 17:30

[18p-D2-14] STM/STSによるSi(001)上のナノ鉄シリサイドの物性評価

○（M2）成重卓真1，鷺坂恵介2，藤田大介2，大野真也1，田中正俊1 (横浜国大院工1，物質・材料研究機構2)

キーワード：半導体,走査トンネル顕微鏡,鉄シリサイド