[19a-A4-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-A4-2] ミストCVD法により製膜したAlO_x膜のパッシベーション特性

^○井口功嗣^1,3，三木祥平^1,3，今枝博紀^1,3，酒井智香子^1,3，吉田晴彦^1,3，堀田育志^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3，新船幸二^1,3 (兵庫県立大¹，明大²，JST-CREST³)

キーワード：パッシベーション,酸化アルミニウム,ミストCVD