2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化

[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化

2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 B4 (TC2 1F-106)

09:00 〜 09:15

[19a-B4-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」(15分)厚膜PZT/PZTバイモルフを用いたMEMSミラー試作

井上純一1,神田健介1,2,斎藤誉司2,藤田孝之1,2,前中一介1,2 (兵庫県立大電気系工学1,日本科学技術振興機構2)

キーワード:PZT,Bimorph,MEMS