[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

△ [19a-C1-3] 生産現場における異常検出のための特性インピーダンスモニタリング法

^○本村大成¹，笠嶋悠司¹，福田修¹，上杉文彦¹，栗田裕之²，木村直也² (産総研 生産計測¹，アドバンテスト²)

キーワード：プラズマプロセス,インピーダンス,プロセスモニタリング