[19a-C2-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [19a-C2-1] DLCのプラズマCVD法における初期高速成膜過程

^○針谷達¹，安岡佑起¹，角田祥明¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：DLC,プラズマCVD