[19a-C7-1~15] 6.4 薄膜新材料

[19a-C7-15] Nbをドープした大気開放型CVD 法で合成されたTiO₂の導電性と形態

^○（M1）小林望，小松啓志，大塩茂夫，戸田育民，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技科大(工))

キーワード：Nb添加TiO2,導電体,大気開放型CVD