2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19a-C7-1~15] 6.4 薄膜新材料

2013年9月19日(木) 09:00 〜 13:00 C7 (TC3 1F-117)

10:45 〜 11:00

[19a-C7-8] Si基板上に堆積したSTO薄膜へのポストアニールの効果

今中淳弘,佐々木翼,堀田育志,佐藤真一 (兵庫県立大)

キーワード:Si,Sr,バッファー層