2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P7 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P7-1] 高抵抗GaNのトラップ評価

○徳田豊1，田中丈士2,3，塩島謙次2，乙木洋平3 (愛知工大1，福井大院工2，日立電線3)

キーワード：半導体