[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-10] アセトンクラスターイオンビームのSi表面への照射効果

^○角元友樹，龍頭啓充，竹内光明，高岡義寛 (京大光電子理工セ)

キーワード：イオンビーム