[19p-A13-1~7] 7.4 ナノインプリント

[19p-A13-5] UVナノインプリントによるブロックコポリマー相分離用ケミカルパターンの作製

^○若葉瞳，岡田真，伊吉就三，春山雄一，松井真二 (兵庫県立大)

キーワード：ガイドパターン,誘導自己組織化,ミクロ相分離