[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-12] メニスカス力による熱酸化された中空構造シリコン膜の局所転写

^○赤澤宗樹，酒池耕平，中村将吾，福永貴司，林将平，森崎誠司，東清一郎 (広大院　先端研)

キーワード：転写,中空構造,メニスカス力