[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

△ [19p-C1-9] 室温下で高純度ZnO粒子生成に用いる酸素負イオン源の開発

^○山本昌良¹，比村治彦¹，岡田成文²，三瓶明希夫¹，政宗貞男¹ (京都工繊大¹，阪大工²)

キーワード：酸素負イオン　,ZnO,室温