[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-13] 基板冷却機構を備えたフレームデポジション法によるイットリア膜の作製

^○外山歩¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，小松啓志¹，戸田育民¹，村松寛之¹，齋藤秀俊¹ (長岡技術科学大¹，中部キレスト²)

キーワード：イットリア,フレームデポジション法,基板冷却機構