[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-4] コプラナー型沿面放電を利用した常温大気圧下におけるSnO₂薄膜の形成

金指翔大，花井利通，丹祐人，^○奥谷昌之 (静岡大工)

キーワード：沿面放電,プラズマ,酸化スズ