[19p-C7-1~13] 6.4 薄膜新材料

[19p-C7-8] スパッタリング成膜によるランタンとチタンの複合酸化物光学薄膜の作製

^○奥田良，高橋智朗，室谷裕志 (東海大院工)

キーワード：光学薄膜,スパッタリング