[19p-D1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-D1-5] (100)配向BiFeO₃薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の評価

^○苅谷健人¹，吉村武¹，村上修一²，若園佳佑¹，藤村紀文¹ (大阪府立大¹，大阪府立産技研²)

キーワード：エナジーハーベスタ,圧電,BiFeO3