[19p-P2-1~19] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-P2-6] BおよびPを同時ドープしたSiNWsの熱酸化過程での不純物の偏析挙動

^○神永惇^1,2，滝口亮²，鈴木慶太郎^1,2，菱田俊一¹，関口隆史¹，村上浩一²，深田直樹^1,2 (物質・材料研究機構¹，筑波大院工²)

キーワード：ナノワイヤ,電子共鳴スピン,偏析挙動