[20a-A8-1~12] 5.3 光制御

[20a-A8-9] 3次元オンチップ光配線のための低損失層間光結合デバイス

^○武井亮平^1,2，面田恵美子^1,2，鈴木政雄^1,2，眞子祥子^1,2，亀井利浩^1,2，森雅彦^1,2，榊原陽一^1,2 (産総研¹，PECST²)

キーワード：シリコンフォトニクス,オンチップ光配線,3次元光回路