[20a-C11-1~11] 9.3 ナノエレクトロニクス

[20a-C11-4] リモート水素プラズマ支援によるSiO2上へのFeナノドットの高密度形成

^○張海，福岡諒，壁谷悠希，牧原克典，宮崎誠一 (名大院工)

キーワード：ナノドット,鉄,水素プラズマ